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            真空蒸鍍的設(shè)備及工藝

            瀏覽量: 1394 日期: 2013-08-06 09:35:04 作者: admin 來(lái)源:

              陶瓷十大品牌真空蒸鍍的設(shè)備系統(tǒng)包括前處理設(shè)備、蒸鍍機(jī)及后處理設(shè)備,其中蒸鍍機(jī)是核心部分。蒸鍍機(jī)由真空槽(室)、真空排氣系統(tǒng)、燕發(fā)源及電氣設(shè)備組成。真空室內(nèi)有可控的加熱裝置及可驅(qū)動(dòng)的工件夾具等。

              在某些膜層沉積過(guò)程中對(duì)膜厚需要進(jìn)行動(dòng)態(tài)的在線測(cè)量,這些成長(zhǎng)中的膜層厚度僅在納米到微米級(jí)之間。故需要特殊的測(cè)量技術(shù)。目前常用的檢測(cè)方法有光干涉極值法和石英晶體振蕩法。前者是基于光線垂直人射到薄膜上。通過(guò)不同波長(zhǎng)的光的透射和反射隨膜厚變化而干涉圖樣發(fā)生變化來(lái)進(jìn)行識(shí)別的,它僅用于透明膜層檢測(cè),測(cè)量?jī)x器主要由調(diào)制器、單色儀和光電倍增管組成。后者是基于石英晶片振蕩頻率隨沉積膜厚而變化進(jìn)行識(shí)別的,它廣泛用于各種膜層的厚度測(cè)量,側(cè)量系統(tǒng)由石英晶體振蕩片、頻率計(jì)數(shù)器、微分電路與數(shù)字電路等組成。

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